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電子級超純水中國國家標準(GB/T11446.1-1997)


2013-09-02 13:43:13   來源:    點擊:

電子級超純水中國國家標準(GB/T11446.1-1997)

 

項目
級別
比電阻 MΩ.cm@25℃
硅 ≤ μg/L
>1μm微粒數 < 個/ml
細菌個數< 個/ml
銅≤μg/L
鋅≤μg/L
鎳≤μg/L
鈉≤μg/L
鉀 ≤ g/L
氧≤ μg/L
硝酸根≤
μg/L
磷酸根≤
μg/L
硫酸根 ≤μg/L
總有機碳≤μg/L
EW-Ⅰ
18(95%的時間不低于17)
2
0.1
0.001
0.2
0.2
0.1
0.5
0.5
1
1
1
1
20
EW-Ⅱ
15(95%的時間不低于13)
10
5
0.1
1
1
1
2
2
1
1
1
1
100

 

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