行業國家標準
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電子級超純水中國國家標準（GB/T11446.1-1997）
2013-09-02 13:43:13 來源： 點擊：
電子級超純水中國國家標準（GB/T11446.1-1997）
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項目
級別
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比電阻 MΩ.cm@25℃
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硅 ≤ μg/L
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>1μm微粒數 < 個/ml
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細菌個數< 個/ml
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銅≤μg/L
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鋅≤μg/L
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鎳≤μg/L
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鈉≤μg/L
|
鉀 ≤ g/L
|
氧≤ μg/L
|
硝酸根≤
μg/L |
磷酸根≤
μg/L |
硫酸根 ≤μg/L
|
總有機碳≤μg/L
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EW-Ⅰ
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18（95%的時間不低于17）
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2
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0.1
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0.001
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0.2
|
0.2
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0.1
|
0.5
|
0.5
|
1
|
1
|
1
|
1
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20
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EW-Ⅱ
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15（95%的時間不低于13）
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10
|
5
|
0.1
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1
|
1
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1
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2
|
2
|
1
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1
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1
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1
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100
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