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中國電子行業超純水標準


2013-08-14 15:30:38   來源:皓泉水處理    點擊:
中國電子行業超純水標準
指 標 名 稱
一 級 水(EW-1)
二 級 水(EW-2)
 電阻率MΩ.CM. (25℃)
18(95‰時間)不低于17
15(95‰時間)不低于13
  硅   ≤μg/L
2
10
。1μm 微粒數
0.1
5
 細菌個數 ≤個/ml
0.01
0.1
  銅   ≤μg/L
0.2
1
  鋅   ≤μg/L
0.2
1
  鎳   ≤μg/L
0.1
1
  鈉   ≤μg/L
0.5
2
  鉀   ≤μg/L
0.5
2
  氯   ≤μg/L
1
1
 硝酸根  ≤μg/L
1
1
 磷酸根  ≤μg/L
1
1
 硫酸根  ≤μg/L
1
1
 總有機碳 ≤μg/L
20
100
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